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奕斯伟材料“一种识别晶圆的线缺陷的方法、装置、设备及介质”专利获授权
3 天前
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来源：集微网
西安奕斯伟材料科技取得识别晶圆线缺陷的专利，方法包括采集应力波动数据、选取候选采样点、构建连通区域并判定是否为线缺陷。
天眼查显示，西安奕斯伟材料科技股份有限公司近日取得一项名为“一种识别晶圆的线缺陷的方法、装置、设备及介质”的专利，授权公告号为CN119812025B，授权公告日为2025年10月14日，申请日为2024年12月5日。
本公开提供了一种识别晶圆的线缺陷的方法、装置、设备及介质；所述方法包括：采集经预处理的待测晶圆上的每个采样点的应力波动数据；根据每个采样点的应力波动数据从所有采样点中选取出候选采样点；基于候选采样点构建线状的连通区域；根据线状的连通区域内的所有候选采样点的应力波动数据判定线状的连通区域是否为线缺陷。
