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中瓷电子：公司精密陶瓷零部件通过客户验证，已批量应用于国产半导体设备中
2025-05-13
中瓷电子在机构调研中透露，公司持续加大精密陶瓷零部件领域的研发投入，已开发出氧化铝、氮化铝精密陶瓷零部件，并建立制造工艺平台。其陶瓷加热盘产品的核心技术指标已达国际水平，通过用户验证，并批量应用于国产半导体设备中，销售收入同比大幅增长。此外，公司与国内头部设备厂家的合作研发也取得阶段性进展。
