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和远气体:三氟化氮已量产,六氟化钨上半年有望实现规模化生产
2025-05-13
和远气体宣布,三氟化氮已在试生产中实现量产,六氟化钨正处试生产阶段,预计上半年量产。公司后续将开展半导体验厂和认证工作,逐步推进规模化生产。
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