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清华大学李星辉团队在多维原子级测量技术领域取得重要进展
1 天前
清华大学深圳国际研究生院副教授李星辉团队在多维原子级测量技术上取得突破，研发出新型零死区集成式外差光栅干涉仪。该仪器能实现三自由度亚纳米级位移测量，且在复杂环境下具备更强的稳定性和抗干扰能力。这一成果为光刻系统、原子尺度制造及航空航天超精密测量等领域的高集成度、多维度测量系统提供了关键技术支持。
