根据国际器件与系统路线图(IRDS2023),互补场效晶体管(CFET)被视为FinFET和水平GAA后的新一代晶体管架构。CFET创新性地将NMOS与PMOS器件垂直堆叠,打破了传统平面工艺或FinFET/GAA的水平布局,实现了在更小空间内的高集成密度和性能优势。