苏大维格发布公告,计划以现金方式收购常州维普半导体设备有限公司不超过51%的股权,预计交易对价不超过5.10亿元,整体估值不超过10亿元。收购完成后,苏大维格将控股常州维普。常州维普是国内半导体光掩模缺陷检测设备领域少数实现规模化量产的企业,拥有自主知识产权的核心技术、产品和算法,主要零部件已实现国产化和自主可控。其产品已进入国内外头部晶圆厂和掩膜版厂商的量产线。