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SK 海力士宣布引进业界首款量产型 High NA EUV 设备 EXE:5200B
2025-09-03
SK海力士宣布，已将业界首款量产型高数值孔径极紫外光刻机（High NA EUV）引入韩国利川M16工厂。该设备由荷兰ASML公司制造，型号为TWINSCAN EXE:5200B，其数值孔径（NA）提升至0.55，能大幅提升电路图案绘制的精密度和芯片集成度，预计将在缩小线宽方面发挥关键作用。此次设备引进有望巩固SK海力士在高附加值存储器市场中的地位。
