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SK海力士采用新一代阿斯麦光刻系统生产DRAM
2025-09-03
韩国第二大存储芯片制造商SK海力士公司周三宣布，已在韩国利川市的内存生产线采用先进生产设备，以加速下一代芯片开发。公司在其M16芯片制造工厂安装了业界首个高数值孔径极紫外线（High NA EUV）光刻系统，该系统由荷兰阿斯麦公司生产，数值孔径提高40%，精度提升1.7倍，预计将大幅提升芯片分辨率、缩小线宽并提升集成度。
