超紧凑电容可“听”到最微弱振动,有望推动量子测量技术发展
4 天前

研究人员开发出间隙仅32纳米的超紧凑平行板电容结构,刷新了微型化纪录,测量精度接近量子物理极限。该结构由可移动铝膜片和固定电极组成,是原子力显微镜等设备的核心部件。研究团队用电学和机械振荡替代传统光学读取方案,纳米膜片与电极形成的电容与电感构成电学谐振电路,可高精度测量极微弱机械振动,测量噪声降至受量子物理基本定律限制的水平。此外,团队还展示了可在室温工作的基于机械结构的测量平台,为量子传感提供了新路径。这一成果为制造新一代超灵敏和量子传感器奠定了基础,有望降低未来应用门槛,制造出更小、成本更低的高精度测量仪器。