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先导科技12寸磁控溅射设备出货

3 周前

7月30日，先导科技集团宣布，江苏先导微电子自主研发的Star600-EOSS 12寸高端精密光学磁控溅射量产设备，在徐州高新区生产基地完成组装、联调及自动化与工艺验证，正式交付国内头部晶圆厂使用。此次交付标志着先导科技在高端晶圆级光学镀膜装备领域实现重要突破。

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