中科院：上海微系统所牵头制定的《石墨烯薄膜的载流子迁移率和方块电阻测量：霍尔棒法》国际标准正式发布

2025-12-04

近日，国际电工委员会纳米电工产品与系统技术委员会（IEC/TC 113）正式发布国际标准IEC TS 62607-6-23:2025，该标准全称为《纳米制造—关键控制特性—第6-23部分：石墨烯相关产品—方块电阻、载流子浓度、载流子迁移率：霍尔棒法》。此标准由中国科学院上海微系统与信息技术研究所牵头编制，国家纳米科学中心、深圳市标准技术研究院、泰州巨纳新能源有限公司及来自德国、韩国、加拿大的专家共同参与制定。标准首次在国际上确立了基于霍尔棒法的标准化测量流程，详细规定了石墨烯霍尔器件的样品制备、电极制作、保护层沉积、等离子体刻蚀等关键工艺步骤，并提出了适用于低成本、高效率制备的硬掩模工艺。同时，标准明确了测量系统的配置要求、环境条件、数据分析和结果报告格式，为石墨烯薄膜在透明导电膜、柔性电极等领域的应用提供了科学可靠的测量依据。